真空泵的性能參數(shù)及其使用范圍介

上海雙旭電子有限公司

         
        真空泵的性能參數(shù)   

        1、真空泵的極限壓強(qiáng)

        泵的極限壓強(qiáng)單位是Pa，是指泵在入口處裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的zui低壓強(qiáng)。

        2、真空泵的抽氣速率

        泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s，是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試驗(yàn)罩，并按規(guī)定條件工作時(shí)，從試驗(yàn)罩流過的氣體流量與在試驗(yàn)罩位置測得的平衡壓強(qiáng)之比。簡稱泵的抽速。

        3、真空泵的抽氣量

        真空泵的抽氣量單位是Pam3/s或Pal/s。是指泵入口的氣體流量。

        4、真空泵的起動(dòng)壓強(qiáng)

        真空泵的起動(dòng)壓強(qiáng)單位為Pa，它是指泵無損壞起動(dòng)并有抽氣作用時(shí)的壓強(qiáng)。

        5、泵的前級壓強(qiáng)

        真空泵的前級壓強(qiáng)單位是Pa，它是指排氣壓強(qiáng)低于一個(gè)大氣壓的真空泵的出口壓強(qiáng)。

        6、真空泵的zui大前級壓強(qiáng)

        真空泵口zui大前級壓強(qiáng)單位是Pa，它是指超過了能使泵損壞的前級壓強(qiáng)。

        7、真空泵的zui大工作壓強(qiáng)

        真空泵的zui大工作壓強(qiáng)單位是Pa，它是指對應(yīng)zui大抽氣量的入口壓強(qiáng)。在此壓強(qiáng)下，泵能連續(xù)工作而不惡化或損壞。

        
        8、壓縮比

        壓縮比是指泵對給定氣體的出口壓強(qiáng)與入口壓強(qiáng)之比。

        9、何氏系數(shù)

        泵抽氣通道面積上的實(shí)際抽速與該處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速之比。

        10、抽速系數(shù)

        泵的實(shí)際抽速與泵入口處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速之比。

        11、返流率

        泵的返流率單位是g/cm2.s。它是指泵按規(guī)定條件工作時(shí)，通過泵入口單位面積的泵流質(zhì)量流率。

        12、水蒸氣允許量

        水蒸氣的允許量單位是kg/h，它是指泵在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)能抽除的水蒸氣質(zhì)量流量。

        13、zui大允許水蒸氣入口壓強(qiáng)

        zui大允許水蒸氣入口壓強(qiáng)單位是Pa。它是指在正常環(huán)境條件下，氣鎮(zhèn)泵在連續(xù)工作時(shí)所能抽除的水蒸氣的zui高入口壓強(qiáng)。